Примеси в напыленных пленках

Конечные оптические, электрические и механические свой­ства напыленных пленок определяются многими факторами. Совер­шенно очевидно, что оптические свойства материалов в области вакуумного ультрафиолета должны сильно зависеть от чистоты, структуры и реакционной способности поверхности напыленных пленок.

Условия процесса испарения, влияющие на чистоту пле­нок. Чистота конденсированных пленок зависит не только от чистоты исходного испаряемого материала. Она определяется так­же примесями, которые могут быть введены в процессе испаре­ния. Существует несколько источников таких примесей. (Пред­полагается, что испаритель чист и свободен от окислов перед загрузкой в него испаряемого материала.) Во-первых, для ряда материалов с низкой температурой разложения напыленная пленка будет содержать, помимо молекул этого материала, так­же и некоторое количество составляющих его компонентов. Ко­личество примесей, обусловленное этой причиной, существенно зависит от температуры источника. Далее, при некоторых ком­бинациях испаряемого вещества и материала проволочного испарителя в напыленной пленке обнаруживаются следы материа­ла испарителя. Если упругость пара испаряемого вещества от­личается от упругости пара материала испарителя, то для суще­ствования указанного эффекта необходима химическая реакция материала испарителя либо с испаряемым материалом, либо с остаточными газами. Продукт реакции, содержащий атомы металла испарителя, может иметь относительно высокую упру­гость пара. Известно, например, что температура испарения оки­си вольфрама ниже температуры испарения самого вольфрама. Наличие примеси материала испарителя зависит не только от использованных материалов, но и от температуры источника. При высоких давлениях наблюдается также зависимость коли­чества примесей этого типа от давления и состава остаточных газов.