Вакуумные манометры

Для измерения полного давления в вакуумных системах наиболее широко используются ионизаци­онные манометры с горячим катодом, в частности манометры Байярда — Альперта. Однако эти мано­метры имеют свои ограничения, и для выполнения правильных измерений давления требуется соблюдать определенные пра­вила.

Рассмотрим вначале факторы, вносящие ошибки в показания манометра при любом давлении его рабочего диапазона.

Влияние пропускной способности. Очень часто ионизационный манометр соединяется с вакуумной системой трубкой с определенной пропускной способностью. Скорость откачки мано­метра зависит от многих факторов: природы и количе­ства газа, ранее откачанного манометром, величины электрон­ного ионизирующего тока и энергии электронов. К сожалению, в большинстве случаев производители ионизационных манометров пренебрегают этим требованием. Задачу можно несколько упро­стить, если уменьшить скорость откачки манометра за счет сни­жения эмиссионного тока. Но наилучшим решением является подсоединение манометра к вакуумной системе при помощи трубки соответствующих размеров либо прямой открытый мон­таж прибора в вакуумной камере.

Осцилляции и эффекты, обусловленные потен­циалом баллона манометра. Почти в любых условиях работы в манометрах Байярда—Альперта наблюдаются высо­кочастотные осцилляции в диапазоне 40—80 Мгц. Если ампли­туда осцилляций достаточно велика, электроны, ускорившись, смогут достичь коллектора ионов или стенок баллона манометра и нарушат его калибровку. Кроме того, выпрямление вы­сокочастотного сигнала ионным детектором может также дать неправильное значение ионного тока. В предельных случаях воз­можно даже появление «отрицательного» ионного тока. Ампли­туду осцилляций можно уменьшить до уровня, исключающего их влияние на чувствительность манометра, путем нанесения проводящих покрытий (например, окиси олова) на внутреннюю поверхность стеклянной колбы.