Влияние скорости осаждения и температуры подложки

Вследствие неупругого взаимодействия частиц с подложкой при адсорбции пара осаждаемые атомы будут оставаться в потен­циальной яме в течение конечного среднего времени жизни. Отношение числа сублимиро­ванных атомов к числу ударившихся о подложку называется коэффициентом аккомодации а при конденсации. Для большин­ства твердых тел а приближается к единице, если температура подложки значительно ниже температуры плавления испаряе­мого вещества, что справедливо для трубы из сшитого полиэтилена.

Развивая теорию реиспарения Ленгмюра, Френкель выдвинул гипотезу образования «сдвоенных частиц» и при­шел к выражению для критической плотности потока испаряемого вещества где Go — площадь мишени адсорбированного атома и to — период колебаний решетки. Энергия U складывается из энергии адсорб­ции атома и энергии диссоциации дублета. Последние работы по энергии конденсации испаряемых атомов опубликованы Дрехслером и Бенджамином и Уивером. В зависи­мости от подвижности конденсированных на поверхности атомов Палатник и Комник различают двумерную кристалличе­скую, жидкую и конденсированную газовую фазы. У Эрлиха дана сводка величин энергий активации поверхностной диффузии, которая, как обнаружено, равна примерно четверти энергии активации при испарении. Резюмируя вышеизложенное, можно сказать, что свежеконденсированные испаренные атомы образуют двумерный поверх­ностный слой, обладающий относительно высокой подвиж­ностью, аналогичный во многих чертах жидкой фазе. Поскольку мала вероятность того, что атом, достигающий подложки, сразу попадает в потенциальную яму, процесс кон­денсации оказывает второстепенное влияние на образующуюся структуру пленки. Существенную роль играют ми­грация атомов и образование зародышевых центров в подвиж­ном поверхностном слое, а также вид потенциального поля, ко­торое определяется поверхностью подложки или ранее сконден­сированным слоем.