Разборные соединения высоковакуумных установок

Очень удобно, когда конструкция сверхвысоковакуумной испарительной установки обеспечивает легкий доступ к вакуумной камере посредством фланцевого сое­динения. Подобное соединение должно удовлетворять перечис­ленным ниже требованиям.

Вакуумная плотность. Соединение должно оставать­ся вакуумноплотным в диапазоне температур от комнатной (в специальных случаях от 4° К) до ~450° С. При выборе мате­риалов прокладок это условие заставляет в настоящее время ограничиваться металлами (чаще всего это золото, медь или алюминий). Хорошее уплотнение (способное противостоять мно­гократным циклам температурной тренировки) образуется бла­годаря ограниченной диффузии вещества между фланцами и прокладкой в течение отжига при затянутых болтах фланцевого соединения. В результате детали оказываются сваренными на­столько прочно, что становятся способными выдерживать на­пряжения, возникающие при дополнительной температурной об­работке. При выполнении уплотнений металл — металл крайне важно тщательно очищать рабочие поверхности металлов, так как поверхностные окислы или загрязнения препятствуют диф­фузии.

Надежность. Вероятность появления течи в данной кон­струкции уплотнения должна быть минимальной, ибо отыскание вакуумных неплотностей требует много времени и усилий. В ча­стности, на качестве уплотнения не должны’сказываться такие операции, как, например, затяжка болтов. Кроме того, конст­рукция фланцев должна исключать возможность возникновения механических повреждений их рабочих поверхностей, которые снижают качество уплотнений.

Стоимость. Стоимость прокладок или фланцев не должна быть очень высокой.