Высокие требования к чистоте окружающей среды

Смысл технологии чистых помещений можно определить как обеспечение стабильных условий производства: число частиц, температура и влажность воздуха технологической цепочки должны оставаться постоянными.

Требования к проектированию, строительству и оценке затрат на оборудование чистых помещений для каждого класса чистоты воздуха изложены в стандарте DIN EN ISO 14644. Каждый класс чистоты определяет допустимое число частиц заданного размера в чистом помещении для нанесения покрытий. Ввиду довольно продолжительного времени пребывания изделий со свеженанесенными покрытиями в зонах выпаривания и сушки к окружающей среде предъявляются очень высокие требования по чистоте.

На основе стандарта на строительство чистых помещений для микроэлектронных компонентов была разработана модульная установка для нанесения покрытий. В основе концепции лежит размер растра, что позволяет оптимально расположить потолочные панели, через которые подается приточный воздух, и установить высокоэффективные ячейковые фильтры HEPA. Такая конструкция обеспечивает подачу в обслуживаемую зону низкотурбулентных вытесняющих потоков воздуха.

Кроме компонентов для ограждения чистой зоны поставляется блок для переодевания персонала с пассивным и активным шлюзами и гардеробными принадлежностями для специальной защитной одежды для работы в чистой зоне.